项目介绍

MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

主要由传感器、动作器（执行器）和控制器三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

中国是全球最大的电子生产和消费国，但目前在国内Mems运动传感器领域，无论是在消费类市场、工业还是汽车市场，主要还是使用国外的产品。国内的产品，由于性能的差距，主要还是用在低端市场，如穿戴、玩具等，但这只是整个Mems传感器极小的一块。各类品牌产品基本不采用国产MEMS传感器，性能跟稳定性是主要原因。

本项目希望能打破目前的状况，在国内半导体行业景气度持续高涨和国产化进程提速的背景下，依靠新技术新方法实现高性能以及高稳定。