项目介绍

本项目自主研发嵌入式超精密在线测量技术，并计划将其应用在先进制造业，特别是超精密制造领域中，同时服务于高端制造业研发和基础科学研究。本产品采用世界领先的嵌入式在线测量技术，可实现纳米级光滑表面和结构表面的在位测量及闭环加工，从根本上改善生产流程和工艺，赋予生产母机智能化，可极大减小人力成本和超精密零件生产的不良率，进一步提高先进制造水平和产品竞争力。

同时该技术有助于科研开发人员更深入的了解工艺过程和机理，对于基础科学研究将会起到重大的推进作用。本项目产品包括嵌入式在线测量系统和加工-测量闭环制造方案。目前研制的嵌入式在线测量系统包括超精密自由曲面结构光三维测量和微结构波长扫描干涉测量系统。研制的加工-测量闭环制造方案，包括在线测量校准关键技术，智能工艺优化技术，纳米补偿加工技术，主要以算法程序的形式呈现，算法采用通用加工代码格式，可适用于不同加工系统。同时，团队为智能制造业的用户提供量身定做的嵌入式在线测量集成方案等服务。